Principe technique | Alicona

Comment travaille MeX ?

Le processus de formation de l’image dans un MEB est basé sur la projection de perspective. Comme pour un microscope optique, l’objet tridimensionnel est projeté sur une image 2D plane et l’information relative à l’altitude est perdue. Un MEB fournit des images de grande profondeur de champ, mais qui ne permettent pas de mesurer leur profondeur. Seules les mesures 2D dans le plan de l’image sont possibles.


 

 

 

Afin d’obtenir la 2ème image de l’échantillon observé sous un angle différent, il faut procéder à une inclinaison de la platine porte-objet en position eucentrique, dans les faits cela revient à ramener le centre de la seconde image au même point central que la première. Une platine eucentrique facilite le travail car ce point reste dans le champ visualisé mais n’est pas nécessaire. Une image, que l’on appelle stéréoscopique est ainsi créée. Une technique de superposition des images en couleurs vertes et rouges permet d’obtenir une vue dite « en anaglyphe » qui fournit une perception de la topographie mais sans possibilité d’analyse quantitative. La technologie innovante développée par Alicona identifie maintenant les points qui se correspondent dans chaque image. A partir de ces points, appelés points homologues, les coordonnées 3D réelles de chaque point peuvent être générées. Cette opération complexe est réalisée afin de générer un fichier 3D robuste qui modélise l’échantillon. Une 3ème image capturée sous un autre angle d’inclinaison permet d’affiner en automatique les données de calibration. Ainsi des résultats raccordables peuvent être obtenus.

Technologie de mesure de coordonnées 3D pour la mesure de forme et de rugosité

Alicona propose des systèmes 3D de mesure de surface pour l’assurance qualité tant en recherche qu’en production. Notre valeur ajoutée réside dans la possibilité qu’ont nos systèmes de mesurer la forme et la rugosité sur de larges zones et dans de grands volumes de mesure. La mesure d’arêtes de coupe et la mesure de rayons et d’angles de faibles dimensions sont des applications typiques de nos systèmes. La Variation Focale, la technologie au cœur de la gamme de produit InfiniteFocus, combine la métrologie de surface traditionnelle avec la technologie des machines à mesurer tridimensionnelles. Cette technique permet d’atteindre des résultats de mesure répétables et raccordables de haute résolution même en environnement de production.